低釋氣庫板
發佈日期：2020-07-17 流覽次數：78
鑑於國內半導體不斷往納米微小化發展，潔淨車間對環境中氣態分子污染的要求日益提高，低釋氣材料的適當選用遂成為建廠過程中的重要工程關鍵考慮。
為能更有效掌握質量與交貨期，公司於2018年在高新技術企業研發立項的專用資金支持下，展開低釋氣庫板開發，成功通ASTM測試，於2019年完成低釋氣庫板開發。並已實際投入工程應用於高端浸潤式曝光機潔淨車間、 高端半導體光阻生產車間等， 獲得客戶廣泛認可。
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