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生產機台內氣流交叉污染與潔凈分析與診斷諮詢服務

發佈日期:2017-10-23    流覽次數:161
透過專業技術人員於現場的勘查、量測,可以將實際的生產機台以計算機模型呈現,並提供流體與污染物擴散計算分析,搭配專業技術人員的潔凈設計概念,就可以協助業主判斷生產機台內交叉污染或潔凈污染來源,並可以利用計算機模型進行改善方案的優化設計。為客戶處理生產機台內交叉污染與潔凈度問題的困擾。
我們曾經處理過的生產機台有:半導體廠的8”黃光區SMIF潔凈度改善、
CMP、爐管、RCA Cleaner、Stripper及G6 TFT黃光Vacuum Dryer等機台。

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