生产机台内气流交叉污染与洁净分析与诊断咨询服务
发布日期：2017-12-22 浏览次数：149
透过专业技术人员于现场的勘查、量测，可以将实际的生产机台以计算机模型呈现，并提供流体与污染物扩散计算分析，搭配专业技术人员的洁净设计概念，就可以协助业主判断生产机台内交叉污染或洁净污染来源，并可以利用计算机模型进行改善方案的优化设计。为客户处理生产机台内交叉污染与洁净度问题的困扰。
我们曾经处理过的生产机台有：半导体厂的8”黄光区SMIF洁净度改善、
CMP、炉管、RCA Cleaner、Stripper及G6 TFT黄光Vacuum Dryer等机台。
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