芯片生产微环境（mini environment）设施
发布日期：2020-07-17 浏览次数：159
微环境（mini environment）被广泛掺杂8”以下芯片生产环境防护辅助。
公司于2004年从微环境专业厂商ASYST授权所有图面与技术，开始生产芯片生产专用微环境。并于2006年尝试将CFD（计算流体仿真技术）应用于微环境系统中，提升产品对生产环境 的保护保证能力。
公司先后供应苏州和舰科技，上海天马微电子等客户，超过50台以上，能应客户需要客制化制作并搭配CFD进行优化，广获客户信赖与认可。
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