合肥长鑫12吋存储器晶圆制造基地项目H03工艺动力系统包
发布日期:2020-07-17 浏览次数:182
项目名称:长鑫12吋存储器晶圆制造基地项目H03工艺动力系统包
工作地点:合肥经济开发区北区(空港经济示范区)蜀山区高刘镇长岗街道团肥路
建设单位:合肥长鑫集成电路有限责任公司
建筑面积:总建筑面积 336835.30平方米
建筑层数:TB栋地上5层 、NB栋\MB栋\SB栋地上4层;建筑高度:38.9米
结构类型:钢混 框架剪力墙劲性结构
项目特殊性:生产12吋储存芯片生产厂房
工程概要:H03包工艺动力系统包 : 1)本工程含制程工艺排气工程 2)工艺电力配电工程 3)大宗气体工程 4)工艺排水系统工程 5)系统自控工程等

排气工程

排水

气体系统管路

电盘定位
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